پروژه سیلواکو (100337)

---

شرح پروژه

سلام وقت بخیر

برای سیلواکو موتور آتنا

افزاره مورد نظر یک اتصال پی ان است که با استفاده از روش RIE بر روی ویفر دوپ شده بدست میاید

این ساختار در ازمایشگاه ساخته و اندازه گیری شده است

نتایج ازمایشگاه با کدهایی که خودم مینویسم هم سو است اما 10 برابر فرق دارد

ابتدا یک ویفر نوع p با ناخالصی 5.9e13 در نظر گرفته

سپس در چمبر دیفیوژن تحت ناخالصی فسفر قرار داده میشود و کل ویفر اتصال pn میشود

در اعمال شرایط و میزان ناخالصی n دستمان باز است. حدودا فسفر 1e19 به مدت 15 دقیقه در 980 درجه و حدود 15 دقیقه نفوذ

سپس 300 نانومتر کروم لایه نشانی میشود و هم به عنوان کانتکت و هم شیلد RIE در نظر گرفته میشود

با استفاده از لیتوگرافی و زدایش شیمیایی بر روی کروم ناحیه فعال و حلقه محافظ در اطراف ناحیه فعال ایجاد میشود.

ناحیه فعال 2.3 میلی متر مربع میباشد

فاصله ناحیه فعال نا لبه حلقه محافظ 20 میکرون و عرض حلقه محافظ 40 میکرون است

ضخامت ویفر 500 میکرون

پشت ویفر الومنیوم

اتصال پی ان در دو وضعیت اندازه گیری میشود

یکی مجهز به حلقه محافظ

سپس مجدد فقط کروم حلقه محافظ حذف شده و RIE میشود و تبدیل به دیود خام میشود و مجدد اندازه گیری میشود.

میزان RIE با حلقه محافظ 20 میکرون در عمق و برای حذف حلقه محافظ 2.5 میکرون است.

ناحیه فعال به همراه حلقه محافظ(این دو عکس صرفا برای نشان دادن ساختار ارائه شده است.)

حذف حلقه محافظ

اگر نکته ای فراموش کردم بفرمائید

منتظر بررسی شما هستم

یک هفته ده روز

مهندسی برق افزاره

100337

این پروژه شامل 2 فایل مهم است، لطفا قبل از ارسال پیشنهاد حتما نسبت به بررسی این فایل اقدام فرمایید.

مهارت ها و تخصص های مورد نیاز

---

---